| 分子量 | 熔點 | 沸點 | 臨界溫度 | 臨界壓力 | 液體密度 | 氣體密度 | CAS號 |
| 71.01 | -206.8℃(1atm) | -129℃(1atm) | -39.3℃ | 44.02atm(4.46MPa) | 1554kg/m3(1atm沸點時) | 2.95kg/m3(1atm 21℃） | 7783-54- |
| 鋼瓶容積 | 鋼瓶型號 | 閥門 | 鋼瓶壓力 | 氣體質量 | 危規號 | UN編號 | 包裝分類 | 包裝標志 |
| 47L、43.3L、40L、8L | DOT-3AA、GB5099 | CGA330、CGA640 | 9.0-13.0MPa | 22kg、20kg、3.4kg | 23016 | 2451 | Ⅱ | 6 |
| 儲存及運輸 | |
| 三氟化氮氣瓶應儲存于陰涼、通風倉庫內。三氟化氮氣瓶應遠離火種、熱源、防止陽光直射，與還原劑、易燃或可燃物等分開存放。 | |
| 三氟化氮氣瓶在搬運時要輕裝、輕卸，防止鋼瓶及附件破損。 | |
| 三氟化氮氣瓶的運輸按危險品運輸。運輸時用氣瓶固定架將三氟化氮氣瓶固定好，用汽車公路運輸或用輪船集裝箱運輸。 | |
| 泄漏應急處理 | |
| 如遇有三氟化氮氣體泄露，工作人員要馬上撤離泄漏污染區，并盡可能采取措施阻止三氟化氮氣體的進一步泄露。如有工作人員中毒，應立即送往醫院救治。 | |
| 泄露現場要盡快處理，處理泄露現場的工作人員必須配戴必要的防毒面具，最好是自給正壓式呼吸器。泄露現場經檢測無危害氣體后方可進入工作人員，泄露容器必須經仔細檢查、維修或妥善處理好后方可繼續使用。 | |
| 三氟化氮氣體產品質量標準（QJ58-2007） |
| 雜質 | NF3≥99.995% Vol.% | NF3≥99.99% Vol.% | NF3≥99.98% Vol.% | NF3≥99.9% Vol.% |
| CF4 | ≤20 Vol.ppm | ≤40 Vol.ppm | ≤100 Vol.ppm | ≤500 Vol.ppm |
| N2 | ≤5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤50 Vol.ppm |
| O2+Ar | ≤3 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤50 Vol.ppm |
| CO2 | ≤1 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
| H2O | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm |
| 酸份（以HF計） | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm |
| SF6 | ≤1 Vol.ppm | ≤2 Vol.ppm | ≤2 Vol.ppm | ≤25 Vol.ppm |
| N2O | ≤1 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
| CO | ≤0.5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
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